太陽能光伏發電原材料多晶硅生產用冷卻器

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          德克斯板式換熱器  

多晶硅生產工藝流程

1）石英砂在電弧爐中冶煉提純到98%并生成工業硅， 

其化學反應SiO2+C→Si+CO2↑ 

（2）為了滿足高純度的需要，必須進一步提純。把工業硅粉碎并用無水***(HCl)與之反應在一個流化床反應器中，生成擬溶解的三氯氫硅(SiHCl3)。 

其化學反應Si+HCl→SiHCl3+H2↑ 

反應溫度為300度，該反應是放熱的。同時形成氣態混合物(Н2,НС1,SiНС13,SiC14,Si)。 

（3）第二步驟中產生的氣態混合物還需要進一步提純，需要分解:過濾硅粉，冷凝SiНС13,SiC14，而氣態Н2,НС1返回到反應中或排放到大氣中。然后分解冷凝物SiНС13,SiC14，凈化三氯氫硅（多級精餾）。 

（4）凈化后的三氯氫硅采用高溫還原工藝，以高純的SiHCl3在H2氣氛中還原沉積而生成多晶硅。 

其化學反應SiHCl3+H2→Si+HCl。 

多晶硅的反應容器為密封的，用電加熱硅池硅棒（直徑5-10毫米，長度1.5-2米，數量80根），在1050-1100度在棒上生長多晶硅，直徑可達到150-200毫米。 

這樣大約三分之一的三氯氫硅發生反應，并生成多晶硅。剩余部分同Н2,НС1,SiНС13,SiC14從反應容器中分離。這些混合物進行低溫分離，或再利用，或返回到整個反應中。氣態混合物的分離是復雜的、耗能量大的，從某種程度上決定了多晶硅的成本和該3工藝的競爭力。