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鈦靶

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    • 經營模式:制造商
    • 注冊資本:未填寫
    • 企業類型:企業單位(制造商)
    • 主營產品: 鈦棒   鈦板   鈦絲   鈦管   鈦標準件  
    • 公司地區:陜西/寶雞
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    基本參數
    服務項目 瀏覽量31 發布時間2013-12-23
    品牌鷹翔 所在地陜西 寶雞 起訂≥1 件
    供貨總量未填 發貨0天內發貨 有效期至2025-03-09已下架
    展開
    詳細說明

    靶材的主要性能要求:

    純度

    純度是靶材的主要性能指標之一,因為靶材的純度對薄膜的性能影響很大。不過在實際應用中,對靶材的純度要求也不盡相同。

    雜質含量

    靶材固體中的雜質和氣孔中的氧氣和水氣是沉積薄膜的主要污染源。不同用途的靶材對不同雜質含量的要求也不同。

    密度

    為了減少靶材固體中的氣孔,提高濺射薄膜的性能,通常要求靶材具有較高的密度。靶材的密度不僅影響濺射速率,還影響著薄膜的電學和光學性能。靶材密度越高,薄膜的性能越好。此外,提高靶材的密度和強度使靶材能更好地承受濺射過程中的熱應力。密度也是靶材的關鍵性能指標之一。

    晶粒尺寸及晶粒尺寸分布

    通常靶材為多晶結構,晶粒大小可由微米到毫米量級。對于同一種靶材,晶粒細小的靶的濺射速率比晶粒粗大的靶的濺射速率快;而晶粒尺寸相差較小(分布均勻)的靶濺射沉積的薄膜的厚度分布更均勻。

       

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